无尘车间!
2019-07-30 来自: 惠州韧达纳米科技有限公司 浏览次数:1425
无尘车间,又称洁净室,洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
而在派瑞林涂装表面处理行业,针对某些特定医疗领域产品的表面处理,甚至在涂装前的处理无尘要求需要达到100级。
为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:
1、洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。
2、洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
3、洁净室的送风不会显著增加室内的污染。
4、室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净室达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净室标准。
洁净室的测试:
1、送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
2、各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:
(1)各区间的压差正确;
(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3、过滤器检漏:对过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:
(1)损坏了的过滤器;
(2)过滤器与其外框间的缝隙;
(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4、隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。
5、室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
6、悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则最后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净室设计的技术条件。
应用领域